如核磁设备、等离子发生器和激光器等

• 48V 65V

  HFA和HCA系列有65V和48V两种输出电压，可应用于核磁设备和激光器中最新型射频放大器。

• 效率可达94%

  通过宽带隙半导体（碳化硅）实现电源的高效率。

200VAC-480VAC

可应对全球不同的三相
输入电压

HFA和HCA在不同的三相输入电压条件下均可正常工作，电源全球通用。高效率使电源在200VAC输入时仍可满载工作。

• 

  符合SEMI-F47标准。
  适合半导体制程设备。

  

• 

  

  功率可达31500W

  

  多种串并联组合适用于各类设备

  ※ 输出接地间耐压为2000VAC

• 

  • 激光器
  • 等离子发生器
  • 核磁设备
  • 感应加热系统
  • 高频放大器